半導體精密運動(dòng)平臺XY軸采用直線(xiàn)電機驅動(dòng),滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋組成,R軸直驅電機驅動(dòng)可實(shí)現360°旋轉,Z軸布置于平臺大理石橫梁,常用于半導體精密制造及檢測。
Tips:絲桿模組行程超過(guò)750mm時(shí),會(huì )產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請將降低速度;最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準;馬達加減速設定為0.2s。
注意:限于文件大小和數量限制,高清產(chǎn)品手冊PDF版及完整的產(chǎn)品3D模型STEP文件,請聯(lián)系我司業(yè)務(wù)人員獲取,給您帶來(lái)不便敬請諒解!
半導體精密運動(dòng)平臺XY軸采用直線(xiàn)電機驅動(dòng),滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋組成,R軸直驅電機驅動(dòng)可實(shí)現360°旋轉,Z軸布置于平臺大理石橫梁,常用于半導體精密制造及檢測。
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