一款直驅三軸精密運動(dòng)臺,XY軸十字疊層三片式結構,配備自潤滑的精密滾柱導軌,承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn),R軸轉臺結構扁平薄,可360度旋轉,采用光柵閉環(huán)反饋和防塵設計。用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領(lǐng)域。
Tips:絲桿模組行程超過(guò)750mm時(shí),會(huì )產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請將降低速度;最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準;馬達加減速設定為0.2s。
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應用領(lǐng)域:
一款直驅三軸精密運動(dòng)臺,帶旋轉功能用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領(lǐng)域。
結構特點(diǎn):
XY軸十字疊層三片式結構,底軸寬度約是上軸長(cháng)度的2/3,移動(dòng)到極限位置時(shí),防止重心不穩定。配備自潤滑的精密滾柱導軌,承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)。R軸轉臺結構扁平薄,三軸疊層后降低工作點(diǎn)的高度,可360度旋轉,用于角度調整,是晶圓切割加工應用的理想選擇。
精度性能:
采用光柵閉環(huán)反饋,考慮材料的熱膨脹影響,加工工藝和裝配工藝等,使XY軸重復定位精度≤±0.4μm,全行程直線(xiàn)度±1μm和平面度±1.25μm,R軸微動(dòng)步距1arc sec。
防塵管理:
精密運動(dòng)臺的防塵設計,有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進(jìn)入直線(xiàn)臺,影響使用壽命,同時(shí)不受防塵罩擾動(dòng)力的影響。
定制化:
根據應用可選擇多種行程、定制高加速度提升生產(chǎn)效率等;可配置大理石立柱、橫梁、支撐鋼架整套系統方案。
本文關(guān)鍵詞: 精密運動(dòng)平臺
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